有機ELデバイスや有機EL照明、また有機太陽電池向けの薄膜封止装置です。
封止膜にはイオンビームスパッタによる無機系の薄膜を、クッション膜としては、リニヤソースによる有機薄膜を積層します。これにより、無機/有機の連続成膜が可能となります。特に、有機膜にはCVDではなく、新たにリニヤソースを開発し、膜厚分布の均一性を向上させました。