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有機膜用技術 ロール to ロール・イオンビームスパッタリング装置

ロール to ロール・イオンビームスパッタリング装置

フレキシブル有機ELデイスプレイ、フレキシブル液晶等 表示素子のフレキシブル化がすすんでいます。これに対して最も重要なのがプラスチック素材への防湿膜の形成です。当社はイオンビームを使った窒化膜が最もこれに適していると考えています。低温かつ緻密な膜が形成できるイオンビームスパッタリングはこれに再も適している技術と考えています。
当然生産性を考えるとRoll to Roll のプロセスが要求されます。

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